하스, EUV 검사장비용 광학소재 개발 성과 공유
2026-10-30
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글라스 세라믹 소재 전문기업 하스(대표 김용수)가 지난 10월 29일 오후 강릉 라카이 샌드파인 리조트에서 ‘극자외선 검사장비 광학계용 광학소재 부품개발 과제 총괄 워크숍’을 개최하고 극저열팽창 광학유리 소재 개발 성과를 공유했다고 최근 밝혔다.
하스는 해당 과제의 총괄 주관연구기관이자 1세부 과제 주관연구기관으로, 한국세라믹기술원·한국광기술원 등과 함께 ‘극자외선 반사경용 LAS계 극저열팽창 결정화 유리 개발’을 수행하고 있다.
이번 워크숍은 ‘13.5나노미터 극자외선 검사장비 광학계용 광학소재 부품 기술개발’ 과제의 세부 주관기관과 공동연구기관이 연구 진행 상황과 성과를 공유하기 위해 마련됐다.
이날 오후 2시부터 기관별 발표와 개발 샘플 전시를 통해 소재 개발부터 반사경 제조, 반사막 코팅에 이르는 세부과제별 추진 현황이 소개됐다.
하스는 이번 워크숍에서 직경 260㎜·두께 150㎜급 대형 극저열팽창 광학유리 소재 제조 성과를 소개했다.
회사에 따르면 개발 소재는 열팽창계수(CTE) 0.02~0.1×10⁻⁶/K 수준의 특성을 확보했다.
극저열팽창 소재는 온도 변화에 따른 치수 변화를 줄일 수 있어, 정밀한 형상 유지가 필요한 광학 부품용 소재로 개발되고 있다.
개발 소재의 기계적 물성은 누프(Knoop) 경도 720 HK, 영률 87.13GPa, 포아송비 0.25로 나타났으며, 얼룩저항성 평가에서는 Class 0을 기록했다.
하스는 이러한 결과를 바탕으로 소재 조성 설계와 대형화 제조 공정을 고도화하고 있다.
이번 과제는 극자외선(EUV) 검사장비의 반사광학계에 적용할 광학소재와 고반사 반사경 제작 핵심기술의 내재화를 목표로 한다.
하스는 소재 개발 성과를 반사경 제조 및 코팅 분야 연구와 연계해 국내 EUV 광학소재·부품 기술 기반 확보에 기여한다는 계획이다.
하스가 수행하는 1세부 과제는 소재부품기술개발사업의 일환으로 2024년 7월부터 2028년 12월까지 진행된다.
2024년 8월 공시 기준 총 연구개발비는 88억5,060만원이며, 이 가운데 정부지원연구개발비는 74억원, 하스에 배정된 정부지원연구개발비는 35억4,000만원이다.
하스는 EUV 검사장비용 광학소재 개발과 함께, 향후 천문·우주·방산 분야의 고정밀 반사경 등으로 소재 적용 범위를 넓히기 위한 기술 개발도 추진하고 있다.
하스 중앙연구소 관계자는 “이번 워크숍에서 대형 극저열팽창 광학유리 소재의 개발 성과를 공유하고,
세부과제 수행기관들과 기술 연계 방향을 심도 있게 논의할 예정”이라며 “소재 조성과 제조 공정을 고도화해 EUV 검사장비용 핵심 광학소재의 기술 국산화를 추진하겠다”고 말했다.
